薄膜材料
ターゲット材料
金属ターゲット
単一金属・合金系共に取扱実績が多
数あり、材質はCr、T、W、Mo、Ta、Nb、In、Ni、Cu、V、TiAl、CrAl、NiCr、SiAl、WTiがあります
シリコンターゲット
単結晶・多結晶どちらも対応可能です。 抵抗値につきましても、ご要望に応じたものをご用意致します。
ITOターゲット
主に透明電極として、
液晶ディスプレイやタッチパネル、
有機EL、太陽電池などに使われている
レアアースターゲット
材質として、Sc、Ce、Zr、Y、Yb、Sn、Hf、Gd、Lo、Eu、Tb、Hoなどがございます。 一枚から承ります。
蒸着材料
- SiAl、Cu、V、Ni、Hf、Al2O3、ZrO2、HfO2、Cr、MgF2、SiO2、ZnS、CeO2など様々な材質を取り揃えております。